Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
Сейдман Л.А.Տարի:
1988
Հրատարակչություն:
Электроника
Լեզու:
russian
Ֆայլ:
DJVU, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 1988